Мембранные клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (серия ALD7A)
Клапаны Swagelok серии ALD7A сверхвысокой степени чистоты обеспечивают стабильный расход и пропускную способность, быструю отработку, температурные параметры и уровень чистоты, помогающие увеличить выпуск чипов при использовании новых или имеющихся инструментов для производства полупроводников.
Запросить информацию о клапанах ALD7AМембранный клапан Swagelok® ALD7A сверхвысокой степени чистоты на платформе ALD7 оснащен функцией регулировки расхода в полевых условиях. Данное решение обеспечивает точную настройку характеристик прямо на технологическом оборудовании. Клапаны ALD7A предназначены для обеспечения точного, воспроизводимого расхода и срабатывания при тяжелых циклических нагрузках. Наличие функции локальной регулировки расхода позволяет адаптироваться под конкретные условия оборудования, а также оптимизировать контроль дозирования без изменения конструкции установки.
Особенности клапана ALD7A:
- Улучшенная конструкция привода для быстрого и стабильного срабатывания: скорость срабатывания менее 3 мс, время отклика около 5 мс
- Коэффициент расхода до 0,7 Cv с возможностью заказа индивидуальных значений
- Локальная регулировка расхода, позволяющая уменьшить Cv до 25% от заводской настройки
- Коррозионно-стойкий корпус из нержавеющей стали 316L VIM-VAR для процессов сверхвысокой чистоты
- Погружное исполнение стандартного корпуса клапана в диапазоне от 0 °C до 200 °C (32-392 °F); опциональное высокотемпературное исполнение корпуса и привода от 0 °C до 150 °C (32-302 °F)
Технические характеристики клапана ALD7A
| Рабочее давление | От вакуума до 10,0 бар (145 psig) |
| Давление разрыва | >3200 psig (220 бар) |
| Давление управления | 4,2-8,2 бар (60–120 psig) |
| Температурный диапазон | От 0 °C до 200 °C (от 32 °F до 392 °F) |
| Коэффициент расхода | Стандартный 0,7 Cv (заводская настройка) |
| Материалы корпуса | Нержавеющая сталь 316L VIM-VAR |
| Материал мембраны | Суперсплав на основе кобальта |
| Торцевые соединения | Тип: фитинги VCR®, приварные патрубки (встык), модульное соединение 1,5 дюйма для монтажа на поверхность (С-образные уплотнения, High Flow) |
Есть вопросы по клапанам ALD?
Каталоги клапанов серии ALD7A
Подробные сведения о продукции: материалы изготовления, номинальные параметры давления и температуры, варианты исполнения, вспомогательные принадлежности.
Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.
Способы решения основных проблем, связанных с обработкой полупроводников методом атомно-слоевого осаждения (ALD) и атомно-слоевого травления (ALE)
Для процесса обработки полупроводников методами атомно-слоевого осаждения (ALD) и атомно-слоевого травления (ALE) характерны определенные проблемы и сложности. Узнайте, как правильный выбор технологических клапанов поможет вам справиться с ними.
Выберите подходящие клапаны для решения задач в области атомно-слоевого осаждения (ALD)Ресурсы Swagelok специально для вас
Оптимизация критически важных процессов для улучшения рентабельности производства микросхем
Модернизация ключевых газовых и жидкостных систем: снижение рисков, контроль затрат и рост эффективности производства.
Инженерная поддержка Swagelok на объекте для эффективного производства микросхем
В условиях расширения и унификации полупроводниковых производств, техническое сопровождение играет ключевую роль в обеспечении высокого качества и надежности.